تقدم هذه المواصفة القياسية الدولية إجراءً مبسطًا لتحديد التحلل غير المقصود وتقديره وتصحيحه في التركيب الأولي أو حالة المواد الكيميائية التي تحدث بصفتها نتيجة الأشعة السينية أثناء الوقت الذي تتعرض له مواد العينة للأشعة السينية المستخدمة في التحليل الطيفي للإلكترونات الضوئية بالأشعة السينية (XPS). لا تتناول هذه المواصفة القياسية الدولية المقارنات بين أنواع المواد المختلفة أو الآليات أو العمق أو الطبيعة الكيميائية للتحلل الذي يحدث. ويعد إجراء التصحيح المقترح سليمًا فقط عند حدوث التغييرات الناجمة عن الأشعة السينية التي تنتج في أقل من 30% من التخفيض أو الزيادة في كثافة ذروة الإلكترون الضوئي المحددة من مواد العينة.